技术特点 Features
· 根据钙钛矿工艺体系定制化设计,可进行共蒸或顺蒸实验需求;
· 镀膜速率控制精度高(0.1 Å/s),实验条件精确稳定;
· 设备开腔、蒸发源维护及加料简单便捷,结构紧凑。