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点源蒸镀设备

点源蒸镀设备

  技术特点 Features  

· 单腔体设计,占地面积小,操作时间短;

· 配置多组蒸发源,可实现共蒸;

· 适用于多种材料的蒸镀,工艺验证窗口广泛。