全自动硅片上/下料机
全自动硅片上/下料机
技术特点 Features
· 采用PLC控制，上/下片过程全自动完成；触摸屏菜单操作，简单明了。
· 采用双工位操作换片篮不停机。
· 在线式/离线式可选。
· 匹配AGV, RFID, MES 管理功能。
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