技术特点 Features  

· 采用等离子和石墨靶预处理装置，有效提高膜层的结合力；

· 双溅射工艺腔室，单腔镀膜时间减半，更短生产节拍；

· 配置多组溅射靶，可以实现多材料高效率沉积；

· 多蒸发舟间距无级可调，ES距离可微调，注射泵精准控制补液计量，保证产品抗油污性能；

· 大直径镀膜鼓设计，定制化挂板方案，有效提高产能；

· 自动化控制上下板过程，门阀、轨道安全检测，保证操作安全性。