技术特点 Features  

· 匹配钙钛矿电池低温制备工艺要求，成膜质量高、均匀、无针孔，对底层无损淀积。

· 薄膜覆盖率高，电池死区小；薄膜生长环境可控、重复性好、良率高。

· 设备可满足多种功能材料生长，满足不同工艺需求，满足客户定制化的要求。

· 整线装备可以全线集成、占地空间小、资本支出低。

· 全线自动化MES 过程监控，可选自动或手动模式，可搭配自动搬运机智能生产。