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光注入退火炉

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光注入退火炉

  技术特点  Features  

· 双轨产线，机架电气完全独立，互不干扰。

· 大产能：匹配丝印工序产能，CT≤0.80秒，基于硅片尺寸M10（18X±0.5mm*18X±0.5mm）。

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