技术特点 Features
· 高方阻技术解决方案。
· 配套相关专利技术，可适用于硼扩散工艺。
· 独特双嵌套炉门结构。
· 专利技术尾气处理系统。
· 高速平稳整体模组推舟机构。
· 智能化全自动控制。
· 自主知识产权MES软件。
· 全面的防超温、断偶、撞舟等安全报警保护功能。
· 匹配S.C智能化生产管理系统。
